תנור צינורות CVD (Chemical Vapor Deposition)-הידוע במלואו בתור Chemical Vapor Deposition Tube Furnace-הוא סוג של ציוד לעיבוד תרמי שנמצא בשימוש נרחב בתחומי מדעי החומרים והנדסת החומרים. השימושים והפונקציות העיקריות שלו כוללים:
גידול חומרים ותצהיר:
על ידי החדרת תערובת גז לכבשן, תנור הצינור CVD מקל על פירוק גזים בטמפרטורות גבוהות. האטומים או המולקולות שנוצרו לאחר מכן מפקידים על מצע מוצק, ובכך מאפשרים ייצור של סרטים דקים, ננו-חלקיקים וחומרים מתקדמים אחרים.
עיבוד תרמי:
בנוסף לשקיעת חומרים, ניתן להשתמש בתנור צינורות CVD לטיפולים תרמיים שונים-כגון סידוד אבקה, סינטר קרמי, ניסויים בטמפרטורה-גבוהה ועיבוד חומרים כללי-במגוון רחב של חומרים, כולל קרמיקה, מתכות, אלקטרוניקה, זכוכית, כימיקלים וחומרי בנייה מיוחדים, חומרי בנייה וחומרי בנייה.
הכנת סרט דק:
זה כולל הכנת סרטי מתכת, סרטי מוליכים למחצה, סרטים אופטיים וחומרים דומים. על ידי שליטה מדויקת בתנאי התגובה ואספקת החומר, ניתן להשיג חומרי סרט דק בעלי תכונות ומבנים ספציפיים.
הכנת ננו-חומר:
התנור מאפשר ייצור של ננו-חומרים כגון ננו-חלקיקים וננו-חוטים. על ידי התאמת פרמטרי תגובה וחומרי מצע, ניתן לסנתז ננו-חומרים בעלי מורפולוגיות וממדים מגוונים.
יישומי תעשיית המוליכים למחצה:
בתעשיית המוליכים למחצה,תנורי צינורות CVDלמלא תפקיד מרכזי בתהליכים קריטיים כגון שקיעת-סרט דק, ניקוי פרוסות וטיפול פני השטח.
מטלורגיית אבקה:
הציוד ישים בתחום מטלורגיית אבקות, שם הוא מקל על היווצרות של חומרים מתכתיים או קרמיים באמצעות תגובות גז-.
הכנת חומר אופטי:
זה מאפשר סינתזה של חומרים אופטיים שקופים, המשמשים לאחר מכן בייצור של מכשירים אופטיים, ציפויים אופטיים ורכיבים דומים.
עיצוב מבני:
גוף הכבשן של תנור צינורות CVD כולל בדרך כלל מבנה מעטפת כפול-.
מאוורר קירור מותקן בתוך החלל שבין הקליפה הפנימית והחיצונית כדי להקל על מחזורי חימום וקירור מהירים תוך הבטחה שטמפרטורת פני השטח של מעטפת התנור נשארת נמוכה.
צינור התנור עצמו בנוי בדרך כלל מחומרים בעלי טוהר- גבוה (כגון קורונדום בטוהר- גבוה).
שני קצוות הצינור אטומים באמצעות-אוגני נירוסטה ואקום גבוהים כדי להבטיח-אטימות גז ועמידות גבוהה-לטמפרטורות.
בקרת טמפרטורה ואטמוספירה:
המערכת מסוגלת לשלוט במדויק הן בטמפרטורה הפנימית והן בהרכב האטמוספרי בתוך התנור כדי לעמוד בדרישות הספציפיות של חומרים שונים ופרוטוקולי עיבוד.
הוא מצויד במערכת בקרת זרימת גז מדויקת (כגון מדי זרימת צף ידניים או בקרי זרימת מסה-בדיוק גבוה) כדי לספק את דרישות התהליך הספציפיות הקשורות לאטמוספרות הגנה שונות. יעילות גבוהה וחיסכון באנרגיה:
משתמש ביעילות גבוהה- וחוסכי אנרגיה- בחומרי ריפוד תנור (כגון סיבי אלומינה רב גבישיים) כדי לשפר את יעילות ניצול האנרגיה.