ציוד לחימום בסביבת ואקום. תא התנור מועבר למערכת משאבת הוואקום הגבוהה בכבשן אטום בכיסוי מתכת או זכוכית קוורץ. דרגת הוואקום של הכבשן יכולה להגיע ל-133×(10-2~10-4)Pa. ניתן לחמם את מערכת החימום בכבשן ישירות על ידי חימום חשמלי של חוט תנור התנגדות (כגון חוט טונגסטן), או שניתן לחמם אותה על ידי אינדוקציה בתדר גבוה. הטמפרטורה המקסימלית יכולה להגיע לכ-3000 מעלות. הוא משמש בעיקר לשריפה קרמית, התכה בוואקום, הסרת גז וחישול חלקי ואקום חשמליים, הלחמה של חלקי מתכת ואיטום קרמי-מתכת.