תנור ואקום, כלומר, בחלל הספציפי של תא התנור, מערכת הוואקום (המורכבת בקפידה על ידי משאבת ואקום, מכשיר מדידת ואקום, שסתום ואקום ורכיבים נוספים) משמשת לפירוק חלק מהחומרים בתא התנור, כך הלחץ בתא הכבשן נמוך מלחץ אטמוספרי סטנדרטי, והחלל בתא הכבשן משמש להשגת מצב ואקום, שהוא כבשן ואקום.
תנור ואקום הוא מכשיר שמתחמם בסביבת ואקום. תא התנור מועבר למערכת משאבת הוואקום הגבוהה בכבשן אטום בכיסוי מתכת או זכוכית קוורץ. דרגת הוואקום של הכבשן יכולה להגיע ל-133×(10-2~10-4)Pa. ניתן לחמם את מערכת החימום בכבשן ישירות על ידי חימום חשמלי של חוט תנור התנגדות (כגון חוט טונגסטן), או שניתן לחמם אותה על ידי אינדוקציה בתדר גבוה. הטמפרטורה המקסימלית יכולה להגיע לכ-3000 מעלות. הוא משמש בעיקר לשריפה קרמית, התכה בוואקום, הסרת גז וחישול חלקי ואקום חשמליים, הלחמה של חלקי מתכת ואיטום קרמי-מתכת.
